21800系列閉合回路真空節流閥產品應用

這些真空閘閥節流閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環,少量維修保養和緊閉關閉的低漏氣閥門

21800系列閉合回路真空節流閥

21800系列閉合回路氣動節流閘閥節流閥利用標準的 HVA21200系列真空閥門設計外加一個金屬節流調節裝置. 這個節流調節裝置包括了一個MKS 146C 真空規格測量和控制系統、歐姆龍模擬型光纖傳感器和放大器、一個氣動壓力控制器和一個超大尺寸的 HVA 壓差執行裝置. *的氣缸設計使沖擊和振動減少到小. 這些真空閘閥真空腔內沒有機械鎖,這樣此就非常有益于半導體制造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產生并且使驅動更容易. 這個系統在一個閉合回路中通過監測閥門的實際位置和系統的壓力和電導來操作。在壓力/電導模式下, 這個真空閥門開啟或者關閉直到MKS流量或壓力表監控到需要的系統達到氣流量. 除了控制閥門, MKS 控制器可以監控兩個計量表. 在真實位置模式, 閥門驅動器活塞式被歐姆龍傳感器監控的. 傳感器信號發送到 MKS 控制器, 然后相應的與所需要的閥位到啟動壓力控制器. 壓力控制器控制壓差適用于控制活塞按照要求的方向移動.

21800系列閉合回路真空節流閥產品特點

1. 節流控制機構可以無限的從全開到全關變化

2. 不銹鋼焊接波紋管

3. 標準或者定制法蘭

4. 1000000使用周期(視系統而定)

21800系列閉合回路真空節流閥技術參數

21800系列閉合回路真空節流閥產品應用

這些真空閘閥節流閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環,少量維修保養和緊閉關閉的低漏氣閥門.

21800系列閉合回路真空節流閥產品部件圖