HVA真空閥 伯東HVA 3位真空閘閥真空插板閥 21700 系列
參考價 | ¥ 999999 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 伯東企業(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 上海市
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2023/5/11 9:50:48
- 訪問次數 1326
參考價 | ¥ 999999 |
訂貨量 | ≥1件 |
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伯東HVA 3位真空閘閥真空插板閥 21700 系列 適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡.
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伯東HVA 3位真空閘閥真空插板閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的totally關閉和開啟, 另一個電磁閥用于控制和調節閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業.
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產品特點
1. 機械預設, 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數:
閥門材質: | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅動軸和驅動銷 | 硬質不繡鋼 |
閥門密封方式: | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關閉 | 1 bar |
真空: | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前*大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度(不含電磁閥): | |
閥門主體 | 150 °c |
驅動方式 | 氣動 60 °c |
使用壽命:100,000啟閉次數 | |
公稱通徑:DN100-320 mm |
美國 HVA 真空閥門-美國*大真空閥門制造商。美國HVA原*進*真空閥門,超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥,高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區only總代理商。
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