產于日本，真空泵由圓形外殼和葉輪組成，葉輪安裝在與外殼偏心的位置。當在機殼內加入適量的水并轉動葉輪時，水在離心力作用下一邊移動一邊形成與機殼同心的圓形水膜。結果，在水膜附近形成了由葉片密封的空間，該空間的體積隨著葉輪的旋轉而變化，不斷地進行吸入、壓縮和排氣，從而形成的泵。KASHIYAMA真空泵

KASHIYAMA真空泵

KASHIYAMA真空泵

真空泵NeoDry7E特點

三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本（潔凈制成的情況下）

設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，設備正常工作

采用空冷式方式，不需要配置冷卻水，從而節少空間和避免水泄漏的風險

采用氣鎮（Gas Ballast)結構，可以排出水蒸汽

變頻馬達、低噪音、低震動

產品應用

·真空干燥 ·鋰電池干燥 ·真空脫氣 ·真空成型

·真空包裝 ·真空填充 ·真空傳送 ·氣相沉積

·氣體置換 ·電子顯微鏡 ·加速器 ·質譜儀

·離心機 ·冷凍干燥 ·蒸發器 ·分子泵前級泵

KASHIYAMA工業株式會社，多年來于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有高信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。

公司自1946年創建以來，一直秉承客戶至上的信念，持續不斷努力開發，拓展業務，以適應時代需求。尤其在真空泵領域，堅持不懈地研究創新，制造出了極其的高科技產品。公司生產的真空設備已被廣泛應用于包括半導體制造業和液晶顯示制造業的高科技領域中。

面對未來日趨多元化的市場需求，KASHIYAMA工業將繼續秉承為客戶開發創造的精神，不斷創新。

MU-P/H系列真空泵

MU100P/H

MU180P/H

MU300P/H

MU600P/H

MU1218P/H

MU20N18P/H

MU30N18P/H

NeoDry E 系列真空泵

NeoDry7E

NeoDry15E

NeoDry30E

NeoDry36E

NeoDry60E

NeoDry100E

NeoDry300E